用于加工紅外光學(xué)鏡片、有色金屬反射鏡、超精密有色金屬零件等。
用途概要
用于加工紅外光學(xué)鏡片、有色金屬反射鏡、超精密有色金屬零件等。
可加工工件口徑80mm，表面粗糙度Ra<2nm，面形精度PV<0.2μm。
可加工平面、球面、錐面、非球面以及衍射面以及模仁等。
可加工材料包括單晶鍺、硫系玻璃、硒化鋅、單晶硅、銅、鋁、氟化物、樹脂等。
超精密氣體靜壓主軸，標(biāo)配C軸功能
主軸采用內(nèi)裝式電機+高精度編碼器
X/Z軸均采用液體靜壓導(dǎo)軌，直線電機驅(qū)動，全閉環(huán)控制
PMAC可編程控制器
真空度可切換吸盤
精密微調(diào)刀架
在線動平衡調(diào)整系統(tǒng)
自水平氣浮隔振系統(tǒng)
壓縮空氣處理系統(tǒng)
恒壓伺服液壓系統(tǒng)
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基礎(chǔ)配置 |
超精密氣體靜壓主軸，超精密液體靜壓導(dǎo)軌，“T”型布局 |
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振動隔離 |
自調(diào)節(jié)氣浮墊鐵 |
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控制系統(tǒng) |
PMAC可編程控制器 |
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加工軟件 |
超精密數(shù)控車床加工軟件[簡稱：SPDT2DTools] |
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編程分辨率 |
直線運動0.1nm，回轉(zhuǎn)運動0.000001° |
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性能指標(biāo) |
表面粗糙度Ra<2nm，面形精度PV<0.2μm |
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線性軸 |
X軸（垂直于主軸） |
Z軸（沿主軸） |
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類型 |
液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 |
液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 |
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最大行程： |
350mm |
150mm |
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驅(qū)動方式 |
直線電機 |
直線電機 |
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光柵分辨率 |
31.25pm |
31.25pm |
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直線度： |
0.1μm/50mm |
0.1μm/50mm |
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最大進給速度： |
20mm/s |
20mm/s |
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旋轉(zhuǎn)軸 |
主軸（工件軸） |
C軸 |
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轉(zhuǎn)速 |
0-8000rpm |
0-1000rpm |
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旋轉(zhuǎn)精度 |
≤50nm |
轉(zhuǎn)角定位精度5”,重復(fù)定位精度2” |
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基礎(chǔ)條件 |
壓縮空氣要求 |
供電要求 |
占地空間 |
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溫度控制：22℃±1℃ 溫度梯度：≤1℃/小時 濕度：≤50% |
供氣壓力：0.6MPa 供氣流量：0.3m3/min 過濾精度：0.5μm |
380V，三相五線制，50Hz 額定功率: 8Kw |
長寬高：2100*1200*1900mm 重量：2T |
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